405nm laser processing of thin SU-8 polymer film

This paper presents a comprehensive study on the effect of laser fluence on a negative tone thin film resist, SU-8, using an all-fibre 405 nm laser direct writing technique. 405 nm Gaussian beam is delivered on the spin-coated SU-8 thin film using single mode fibre, followed by subsequent chemical d...

முழு விளக்கம்

Saved in:
நூற்பட்டியல் விவரங்கள்
தலைமை எழுத்தாளர்கள்: Cheong, Y.K., Lim, W.H., Lee, S.H., Pua, C.H., Chong, W.Y., Ahmad, H.
வடிவம்: கட்டுரை
வெளியீடப்பட்டது: Elsevier 2016
பகுதிகள்:
நிகழ்நிலை அணுகல்:http://dx.doi.org/10.1016/j.ijleo.2015.11.057
http://dx.doi.org/10.1016/j.ijleo.2015.11.057
குறியீடுகள்: குறிச்சொல் இணை
குறியீடுகள் இல்லை, இந்த குறிச்சொல்லை முதலில் பதிவு செய்யுங்கள்!