Feasible laser parameters in fabrication of MEMS structures on silicon

The technique of making MEMS structures are kept improving which from old fashion with high cost machine to very advanced one to save time and labor cost. In this report, laser machining of silicon using ND:YAG is introduced. The main objectives are generating MEMS structures on silicon wafer by usi...

முழு விளக்கம்

Saved in:
நூற்பட்டியல் விவரங்கள்
தலைமை எழுத்தாளர்: Yong, Chee Ping
வடிவம்: Undergraduates Project Papers
வெளியீடப்பட்டது: 2010
பகுதிகள்:
நிகழ்நிலை அணுகல்:http://iportal.ump.edu.my/lib/item?id=chamo:52423&theme=UMP2
http://iportal.ump.edu.my/lib/item?id=chamo:52423&theme=UMP2
http://umpir.ump.edu.my/1502/1/Yong%2C_Chee_Ping_%28_CD_5034_%29.pdf
குறியீடுகள்: குறிச்சொல் இணை
குறியீடுகள் இல்லை, இந்த குறிச்சொல்லை முதலில் பதிவு செய்யுங்கள்!