Surface roughness and infra-red study of diamond-like carbon thin films

Diamond-like-carbon (DLC) thin films were prepared on silicon and glass substrates using direct current – plasma enhanced chemical vapour deposition (DC-PECVD) from a mixture of methane, hydrogen, and argon. Two sets of samples are successfully deposited with different substrate temperatures varied...

முழு விளக்கம்

Saved in:
நூற்பட்டியல் விவரங்கள்
தலைமை எழுத்தாளர்: Roslan, Bibi Aishah
வடிவம்: Thesis
மொழி:English
வெளியீடப்பட்டது: 2010
பகுதிகள்:
நிகழ்நிலை அணுகல்:http://eprints.utm.my/16719/
http://eprints.utm.my/16719/7/BibiAishahRoslanMFSA2010.pdf
குறியீடுகள்: குறிச்சொல் இணை
குறியீடுகள் இல்லை, இந்த குறிச்சொல்லை முதலில் பதிவு செய்யுங்கள்!