Crystallization of poly-silicon film by different annealing techniques

Poly-Silicon is widely used in semiconductor devices especially in TFTs technology. Performance of silicon thin film depends on the degree of crystallization. Enhancing the crystalline is the ultimate goal in this annealing process. The best annealing process will be identified. Initially Al doped S...

முழு விளக்கம்

Saved in:
நூற்பட்டியல் விவரங்கள்
தலைமை எழுத்தாளர்கள்: Bidin, Noriah, Ab. Razak, S. N.
வடிவம்: Book Section
வெளியீடப்பட்டது: IEEE Explorer 2011
பகுதிகள்:
நிகழ்நிலை அணுகல்:http://eprints.utm.my/28947/
http://eprints.utm.my/28947/
http://eprints.utm.my/28947/
குறியீடுகள்: குறிச்சொல் இணை
குறியீடுகள் இல்லை, இந்த குறிச்சொல்லை முதலில் பதிவு செய்யுங்கள்!