Fabrication, characterization and optimization of in-house MOSFET transistor using spin on dopant technique

This thesis explains the development and fabrication of first in-house MOSFET device using spin -on dopant technique at KUKUM Microfahrication Cleanroom. The process started with the establishment of process flow, process modules, and process parameters. Four modules were developed. The characterist...

முழு விளக்கம்

Saved in:
நூற்பட்டியல் விவரங்கள்
தலைமை எழுத்தாளர்: Morsin, Marlia
வடிவம்: Thesis
வெளியீடப்பட்டது: 2004
பகுதிகள்:
நிகழ்நிலை அணுகல்:http://eprints.uthm.edu.my/1531/
http://eprints.uthm.edu.my/1531/1/24_Pages_from_FABRICATION%2C_CHARACTERIZATION_AND_OPTIMIZATION_IN%2DHOUSE_MOSFET_TRANSISTOR_USING_SPIN.pdf
குறியீடுகள்: குறிச்சொல் இணை
குறியீடுகள் இல்லை, இந்த குறிச்சொல்லை முதலில் பதிவு செய்யுங்கள்!